
HANBELL IPH系列漢鐘真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。用途包含Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD等。也可根據(jù)需求定制,貝之特真空有授權(quán)代理,誠(chéng)信經(jīng)營(yíng),期待合作!
IPH系列漢鐘真空泵型號(hào)有:iPH100、iPH200、iPH610、iPH1210、iPH1210H、iPH1220、iPH1810、iPH1820等,以下有詳細(xì)配置參數(shù),歡迎瀏覽。
HANBELL IPH系列漢鐘真空泵特點(diǎn):
1、IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。
2、IPH系列螺桿真空泵優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。
4、HANBELL IPH系列漢鐘真空泵較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。
5、HANBELL IPH系列漢鐘真空泵帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。
6、 優(yōu)化的尺寸,即插即用。
HANBELL IPH系列漢鐘真空泵配置參數(shù)
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